ISO 20341:2003

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Publicado (Edición 1, 2003)

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ISO 20341:2003

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Resumen

ISO 20341:2003 specifies procedures for estimating three depth resolution parameters, viz the leading-edge decay length, the trailing-edge decay length and the Gaussian broadening, in SIMS depth profiling using multiple delta-layer reference materials.

It is not applicable to delta-layers where the chemical and physical state of the near-surface region, modified by the incident primary ions, is not in the steady state.

Informaciones generales

Estado
: Publicado

Fecha de publicación
: 2003-07

Etapa
: Norma Internacional en proceso de revisión sistemática [90.20]
Edición
: 1

Número de páginas
: 5
Comité Técnico :
ISO/TC 201/SC 6

ICS :
71.040.40
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