Reference number
ISO 13083:2015
© ISO 2024
International Standard
ISO 13083:2015
Surface chemical analysis — Scanning probe microscopy — Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes
Edition 1
2015-08
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No disponible en español
Publicado (Edición 1, 2015)
Esta publicación se revisó y confirmó por última vez en 2022. Por lo tanto, esta versión es la actual.

ISO 13083:2015

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CHF 96
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Resumen

ISO 13083:2015 describes a method for measuring the spatial (lateral) resolution of scanning capacitance microscopes (SCMs) or scanning spreading resistance microscopes (SSRMs), which are widely used in imaging the distribution of carriers and other electrical properties in semiconductor devices. The method involves the use of a sharp-edged artefact.

Informaciones generales

  • Estado
     : Publicado
    Fecha de publicación
     : 2015-08
    Etapa
    : Norma Internacional confirmada [90.93]
  • Edición
     : 1
    Número de páginas
     : 14
  • Comité Técnico :
    ISO/TC 201/SC 9
    ICS :
    71.040.40 
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9
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