ISO/WD 19383
Titre manque
Numéro de référence
ISO/WD 19383
Edition 1
Projet de travail
ISO/WD 19383
89126
Un groupe de travail a préparé un projet.

Résumé

This document describes the chemical characteristics and related process specifications of the atomic layer deposition precursors, including assay content, metal purity, and anion content specification.

Informations générales

  •  : Projet
    : Mise à l'étude du projet de travail (WD) [20.20]
  •  : 1
  • ISO/TC 107
  • RSS mises à jour

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