ISO 18516:2019
2019-01
Тезис
This document describes methods for measuring lateral resolution and sharpness in imaging surface chemical analysis. It applies to all methods of surface analysis which use a beam to analyse the chemical composition of surfaces under defined settings of an instrument. It applies to scanning instruments, where a finely focused beam is scanned over the sample in a preselected field of view, as well as to full field imaging instruments, where the field of view is simultaneously imaged by a broad beam, an imaging lens system and a pixelated detector. The methods for measuring lateral resolution and sharpness are
— the straight edge method;
— the narrow line method;
— the grating method.
This document applies to instruments and methods that provide information on layers with nanometre thicknesses and to surfaces with nanometre‐sized structures and individual nano‐objects.
Общая информация
-
Текущий статус: ОпубликованоДата публикации: 2019-01Этап: Подтверждение действия международного стандарта [90.93]
-
Версия: 2
-
Технический комитет :ISO/TC 201/SC 2ICS :71.040.40
- RSS обновления
Жизненный цикл
-
Ранее
ОтозваноISO 18516:2006
-
Сейчас
ОпубликованоISO 18516:2019
Стандарт, который пересматривается каждые 5 лет
Этап: 90.93 (Подтверждено)-
00
Предварительная стадия
-
10
Стадия, связанная с внесением предложения
-
20
Подготовительная стадия
-
30
Стадия, связанная с подготовкой проекта комитета
-
40
Стадия, связанная с рассмотрением проекта международного стандарта
-
50
Стадия, на которой осуществляется принятие стандарта
-
60
Стадия, на которой осуществляется публикация
-
90
Стадия пересмотра
-
95
Стадия, на которой осуществляется отмена стандарта
-
00
