Reference number
ISO 22278:2020
© ISO 2024
International Standard
ISO 22278:2020
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam
Edition 1
2020-08
Preview
недоступно на русском языке
Опубликовано (Версия 1, 2020)

ISO 22278:2020

Язык
Формат
CHF 151
Пересчитать швейцарские франки (CHF) в ваша валюта

Тезис

This document specifies the test method for measuring the crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using the XRD method with parallel X-ray beam. This document is applicable to all of the single-crystal thin film (wafer) as bulk or epitaxial layer structure.

Общая информация

  • Текущий статус
     : Опубликовано
    Дата публикации
     : 2020-08
    Этап
    : Опубликование международного стандарта [60.60]
  • Версия
     : 1
  • Технический комитет :
    ISO/TC 206
    ICS :
    81.060.30 
  • RSS обновления

Жизненный цикл

Цели в области устойчивого развития

Данный стандарт разработан для достижения следующих Цель устойчивого развития

9
Индустриализация, инновации и инфраструктура

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ

  2. Интернет-магазин
  3. Каталог стандартов
  4. МКС
  5. 81
  6. 81.060
  7. 81.060.30
  8. ISO 22278:2020