Reference number
ISO 23812:2009
© ISO 2024
International Standard
ISO 23812:2009
Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Method for depth calibration for silicon using multiple delta-layer reference materials
Edition 1
2009-04
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No disponible en español
Publicado (Edición 1, 2009)
Esta publicación se revisó y confirmó por última vez en 2020. Por lo tanto, esta versión es la actual.

ISO 23812:2009

Idioma
Formato
CHF 129
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Resumen

ISO 23812:2009 specifies a procedure for calibrating the depth scale in a shallow region, less than 50 nm deep, in SIMS depth profiling of silicon, using multiple delta-layer reference materials.

It is not applicable to the surface-transient region where the sputtering rate is not in the steady state.

It is applicable to single-crystalline silicon, polycrystalline silicon and amorphous silicon.

Informaciones generales

  • Estado
     : Publicado
    Fecha de publicación
     : 2009-04
    Etapa
    : Norma Internacional confirmada [90.93]
  • Edición
     : 1
    Número de páginas
     : 19
  • Comité Técnico :
    ISO/TC 201/SC 6
    ICS :
    71.040.40 
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