Reference number
ISO 23812:2009
© ISO 2024
International Standard
ISO 23812:2009
Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Method for depth calibration for silicon using multiple delta-layer reference materials
Edition 1
2009-04
Preview
недоступно на русском языке
Опубликовано (Версия 1, 2009)
Последний раз этот публикация был пересмотрен в  2020. Поэтому данная версия остается актуальной.

ISO 23812:2009

Язык
Формат
CHF 129
Пересчитать швейцарские франки (CHF) в ваша валюта

Тезис

ISO 23812:2009 specifies a procedure for calibrating the depth scale in a shallow region, less than 50 nm deep, in SIMS depth profiling of silicon, using multiple delta-layer reference materials.

It is not applicable to the surface-transient region where the sputtering rate is not in the steady state.

It is applicable to single-crystalline silicon, polycrystalline silicon and amorphous silicon.

Общая информация

  • Текущий статус
     : Опубликовано
    Дата публикации
     : 2009-04
    Этап
    : Подтверждение действия международного стандарта [90.93]
  • Версия
     : 1
  • Технический комитет :
    ISO/TC 201/SC 6
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS обновления

Жизненный цикл

Цели в области устойчивого развития

Данный стандарт разработан для достижения следующих Цели в области устойчивого развития

9
Индустриализация, инновации и инфраструктура
7
Недорогостоящая и чистая энергия

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ

  2. Интернет-магазин
  3. Каталог стандартов
  4. МКС
  5. 71
  6. 71.040
  7. 71.040.40
  8. ISO 23812:2009