Reference number
ISO 14237:2010
© ISO 2024
International Standard
ISO 14237:2010
Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
Edition 2
2010-07
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No disponible en español
Publicado (Edición 2, 2010)
Esta publicación se revisó y confirmó por última vez en 2021. Por lo tanto, esta versión es la actual.

ISO 14237:2010

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Resumen

ISO 14237:2010 specifies a secondary-ion mass spectrometric method for the determination of boron atomic concentration in single-crystalline silicon using uniformly doped materials calibrated by a certified reference material implanted with boron. This method is applicable to uniformly doped boron in the concentration range from 1 x 1016 atoms/cm3 to 1 x 1020 atoms/cm3.

Informaciones generales

  • Estado
     : Publicado
    Fecha de publicación
     : 2010-07
    Etapa
    : Norma Internacional confirmada [90.93]
  • Edición
     : 2
    Número de páginas
     : 19
  • Comité Técnico :
    ISO/TC 201/SC 6
    ICS :
    71.040.40 
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