ISO 14237:2010 - Analyse chimique des surfaces — Spectrométrie de masse des ions secondaires — Dosage des atomes de bore dans le silicium à l'aide de matériaux dopés uniformément

Le dernier examen de cette norme date de 2021. Cette édition reste donc d’actualité.

Résumé

L'ISO 14237:2010 spécifie une méthode de spectrométrie de masse des ions secondaires pour la détermination de la concentration atomique de bore dans le silicium monocristallin au moyen de matériaux dopés uniformément, étalonnés par un matériau de référence certifié à bore implanté. Cette méthode est applicable au bore dopé uniformément dans la gamme de concentrations de 1 x 10¹⁶ atomes/cm³ à 1 x 10²⁰ atomes/cm³.

Informations générales

État actuel
: Publiée

Date de publication
: 2010-07
Edition
: 2

Nombre de pages
: 19
Comité technique
: ISO/TC 201/SC 6 Spectrométrie de masse des ions secondaires
ICS
:
71.040.40 Méthodes d'analyse chimique

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