Resumen
This document describes the influence quantities and instrument characteristics of confocal microscopy systems for areal measurement of surface topography. Because surface profiles can be extracted from surface topography images, the methods described in this document can be applied to profiling measurements as well.
Informaciones generales
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Estado: PublicadoFecha de publicación: 2019-03Etapa: Norma Internacional para revisar [90.92]
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Edición: 1Número de páginas: 21
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Comité Técnico :ISO/TC 213ICS :17.040.20
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Será reemplazada por
En desarrolloISO/AWI 25178-607