Resumen
This document describes the influence quantities and instrument characteristics of confocal microscopy systems for areal measurement of surface topography. Because surface profiles can be extracted from surface topography images, the methods described in this document can be applied to profiling measurements as well.
Informaciones generales
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Estado: En desarrolloEtapa: Nuevo proyecto registrado en el programa de trabajo TC/SC [20.00]
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Edición: 2
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Comité Técnico :ISO/TC 213
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Ciclo de vida
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Anteriormente
PublicadoISO 25178-607:2019
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