Cette norme a été révisée par ISO 18114:2021
Résumé
ISO 18114:2003 specifies a method of determining relative sensitivity factors (RSFs) for secondary-ion mass spectrometry (SIMS) from ion-implanted reference materials.
The method is applicable to specimens in which the matrix is of uniform chemical composition, and in which the peak concentration of the implanted species does not exceed one atomic percent.
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État actuel: AnnuléeDate de publication: 2003-04
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Edition: 1
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- ICS :
- 71.040.40 Méthodes d'analyse chimique
Cycle de vie
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Actuellement
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Révisée par
PubliéeISO 18114:2021
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