Numéro de référence
ISO 18516:2006
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ISO 18516:2006
Analyse chimique des surfaces — Spectroscopie d'électrons Auger et spectroscopie de photoélectrons de rayons X — Détermination de la résolution latérale
Edition 1
2006-11
Annulée
Annulée (Edition 1, 2006)

Résumé

L'ISO 18516:2006 décrit trois procédés pour mesurer la résolution latérale obtenue dans les spectromètres d'électrons Auger et les spectromètres de photoélectrons par rayons X avec des réglages définis. Le procédé du bord rectiligne convient pour les instruments où la résolution latérale est supposée être supérieure à 1 micromètre. Le procédé de la grille convient si la résolution latérale est supposée être inférieure à 1 micromètre mais supérieure à 20 nm. Le procédé de l'îlot d'or convient pour les instruments où la résolution latérale est supposée être inférieure à 50 nm.

Les Annexes A, B et C fournissent des exemples illustratifs de la mesure de la résolution latérale.

Informations générales

  • État actuel
     : Annulée
    Date de publication
     : 2006-11
    Stade
    : Annulation de la Norme internationale [95.99]
  • Edition
     : 1
    Nombre de pages
     : 25
  • Comité technique :
    ISO/TC 201/SC 2
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS mises à jour

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