Résumé

L'ISO 18516:2006 décrit trois procédés pour mesurer la résolution latérale obtenue dans les spectromètres d'électrons Auger et les spectromètres de photoélectrons par rayons X avec des réglages définis. Le procédé du bord rectiligne convient pour les instruments où la résolution latérale est supposée être supérieure à 1 micromètre. Le procédé de la grille convient si la résolution latérale est supposée être inférieure à 1 micromètre mais supérieure à 20 nm. Le procédé de l'îlot d'or convient pour les instruments où la résolution latérale est supposée être inférieure à 50 nm.

Les Annexes A, B et C fournissent des exemples illustratifs de la mesure de la résolution latérale.


Informations générales 

  • État actuel
     : Annulée
    Date de publication
     : 2006-11
  • Edition
     : 1
    Nombre de pages
     : 25
  • Comité technique
     : ISO/TC 201/SC 2 Procédures générales
  • ICS
     :
    71.040.40 Méthodes d'analyse chimique

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