ISO 11952:2014
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ISO 11952:2014
51061

Résumé

ISO 11952:2014 specifies methods for characterizing and calibrating the scan axes of scanning-probe microscopes for measuring geometric quantities at the highest level. It is applicable to those providing further calibrations and is not intended for general industry use, where a lower level of calibration might be required.


Informations générales 

  •  :  Annulée
     : 2014-05
  •  : 1
  •  : ISO/TC 201/SC 9 Microscopie par sonde à balayage
  •  :
    71.040.40 Méthodes d'analyse chimique

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