Reference number
ISO 13424:2013
© ISO 2024
International Standard
ISO 13424:2013
Surface chemical analysis — X-ray photoelectron spectroscopy — Reporting of results of thin-film analysis
Edition 1
2013-10
Preview
Indisponible en français
Publiée (Edition 1, 2013)
Cette publication a été révisée et confirmée pour la dernière fois en 2021. Cette édition reste donc d’actualité.

ISO 13424:2013

Langue
Format
CHF 173
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Résumé

ISO 13424:2013 specifies the minimum amount of information required in reports of analyses of thin films on a substrate by XPS. These analyses involve measurement of the chemical composition and thickness of homogeneous thin films, and measurement of the chemical composition as a function of depth of inhomogeneous thin films by angle-resolved XPS, XPS sputter-depth profiling, peak-shape analysis, and variable photon energy XPS.

Informations générales

  • État actuel
     : Publiée
    Date de publication
     : 2013-10
    Stade
    : Norme internationale confirmée [90.93]
  • Edition
     : 1
  • Comité technique :
    ISO/TC 201/SC 7
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS mises à jour

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