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Résumé

ISO 17973:2016 specifies a method for calibrating the kinetic energy scales of Auger electron spectrometers with an uncertainty of 3 eV, for general analytical use in identifying elements at surfaces. In addition, it specifies a method for establishing a calibration schedule. It is applicable to instruments used in either direct or differential mode, where the resolution is less than or equal to 0,5 % and the modulation amplitude for the differential mode, if used, is 2 eV peak-to-peak. It is applicable to those spectrometers equipped with an inert gas ion gun or other method for sample cleaning and with an electron gun capable of operating at 4 keV or higher beam energy.

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Informations générales

  • État actuel
     : Publiée
    Date de publication
     : 2016-09
    Stade
    : Norme internationale à réviser [90.92]
  • Edition
     : 2
  • Comité technique :
    ISO/TC 201/SC 7
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS mises à jour

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Cette norme contribue à l'Objectif de développement durable suivant

9
Industrie, innovation et infrastructure

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