Reference number
IEC/TR 63258:2021
© ISO 2024
Technical Report
IEC/TR 63258:2021
Nanotechnologies — A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films
Edition 1
2021-03
Technical Report
Preview
Indisponible en français
Publiée (Edition 1, 2021)

IEC/TR 63258:2021

Langue
Format
CHF 40
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Résumé

IEC TR 63258:2021 is a Technical Report focused on the practical protocol of ellipsometry to evaluate the thickness of nanoscale films. This document does not include any specification of the ellipsometers, but suggests how to minimize the data variation to improve data reproducibility.

Informations générales

  • État actuel
     : Publiée
    Date de publication
     : 2021-03
    Stade
    : Norme internationale publiée [60.60]
  • Edition
     : 1
  • Comité technique :
    ISO/TC 229
    ICS :
    07.120 
  • RSS mises à jour

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