Résumé
This document describes a glow-discharge optical-emission spectrometric method for the determination of the thickness, mass per unit area and chemical composition of metal oxide films.
This method is applicable to oxide films 1 nm to 10 000 nm thick on metals. The metallic elements of the oxide can include one or more from Fe, Cr, Ni, Cu, Ti, Si, Mo, Zn, Mg, Mn, Zr and Al. Other elements that can be determined by the method are O, C, N, H, P and S.
Informations générales
-
État actuel: PubliéeDate de publication: 2019-08Stade: Norme internationale à réviser [90.92]
-
Edition: 2
-
Comité technique :ISO/TC 201/SC 8ICS :71.040.40
- RSS mises à jour
Cycle de vie
-
Précédemment
AnnuléeISO/TS 25138:2010
-
Actuellement
PubliéeISO/TS 25138:2019
Les normes ISO sont réexaminées tous les cinq ans
Stade: 90.92 (Sera révisée) -
Sera remplacée par
ProjetISO/DTS 25138